半導体・液晶製造プロセス用石英ガラス
半導体製造プロセスには、石英ガラス製品の使用が不可欠です。
IC→LSI→超LSIと半導体デバイスの集積度向上に伴い、石英ガラスには、より高純度と高精度が求められています。
また、300mmウェーハ時代を迎え、石英治具の大型化も進むなど、石英ガラスに対する要求も高度化しています。
炉芯管・ボート・その他、様々な加工品が製作可能です。